[发明专利]势垒金属结构及势垒金属结构的制造方法在审
| 申请号： | 201711451462.5 | 申请日： | 2017-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN109979992A | 公开（公告）日： | 2019-07-05 |
| 发明（设计）人： | 朱家从;甘新慧;蒋正勇;张伟民;杨万青;齐从明 | 申请（专利权）人： | 无锡华润微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/08 | 分类号： | H01L29/08;H01L29/417;H01L21/04 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 吴平 |
| 地址： | 214135 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种势垒金属结构及势垒金属结构的制造方法，包括：第一金属钛层，设于所述衬底上；金属氮化钛层，设于所述第一金属钛层上；第二金属钛层，设于所述金属氮化钛层上；铝金属层，设于所述第二金属钛层上。上述势垒金属结构，由于在金属氮化钛层和铝金属层之间设有第二金属钛层，可阻止铝金属层和金属氮化钛层在常温下反应生成氮化铝(AlN)，采用湿法腐蚀时，能有效稳定金属氮化钛层的腐蚀速率，保证金属氮化钛层能被完全腐蚀掉，保证了SiC JBS器件最终的性能；该势垒金属结构支持使用湿法腐蚀，可有效解决干法刻蚀过程中带来的过刻和刻蚀完成后金属侧壁形貌较为陡直，不利于后续的钝化层覆盖的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 势垒金属 金属氮化 金属钛层 钛层 铝金属层 湿法腐蚀 腐蚀 形貌 干法刻蚀过程 氮化钛层 结构支持 金属侧壁 稳定金属 有效解决 常温下 氮化铝 钝化层 衬底 刻蚀 制造 保证 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种势垒金属结构，设于衬底上，其特征在于，包括：第一金属钛层，设于所述衬底上；金属氮化钛层，设于所述第一金属钛层上；第二金属钛层，设于所述金属氮化钛层上；铝金属层，设于所述第二金属钛层上。
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