[发明专利]一种金字塔型MoS2 有效
申请号: | 201711449836.X | 申请日: | 2017-12-27 |
公开(公告)号: | CN108147461B | 公开(公告)日: | 2020-06-09 |
发明(设计)人: | 张璋;程鹏飞;胡先标;黄文添;袁陈;王新 | 申请(专利权)人: | 肇庆市华师大光电产业研究院 |
主分类号: | C01G39/06 | 分类号: | C01G39/06;C03C17/22;A01N59/16;A01P1/00 |
代理公司: | 天津翰林知识产权代理事务所(普通合伙) 12210 | 代理人: | 赵凤英 |
地址: | 526238 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: |
本发明为一种金字塔型MoS |
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搜索关键词: | 一种 金字塔 mos base sub | ||
【主权项】:
一种金字塔型MoS2的制备方法,其特征为该方法包括以下步骤:(1) 将载玻片裁切成所需尺寸,然后依次用乙醇、丙酮和去离子水超声清洗,取出后再用氮气将吹干,再烘干后,得到基底备用;(2) 取硫粉作为杀菌材料的硫源,三氧化钼作为钼源,备用;其中,质量比为硫粉:三氧化钼=500:1~5;(3)在三温区管式炉中,将三氧化钼放置于第一陶瓷舟中左侧,盖上步骤(1)得到的基底,前后露出1.2‑1.5毫米,置于石英管中间;再把硫粉放置第二陶瓷舟中,置于石英管左侧;对石英管内用分子泵进行抽真空,抽至3到5 x 10‑3 Pa,关阀门再关掉分子泵,然后用500sccm的纯度为99.999%Ar气清洗石英管;清洗完毕后,通入200sccm的Ar,用9分钟把管式炉从30℃加热到300℃,保温5分钟,再用9分钟把管式炉从300℃加热到750℃,这个过程中待温度升到700℃,调节气体流量为25sccm;待温度达到750℃,保温5分钟;待温度降到700℃,调整气体流量为200sccm,并揭开管式炉盖子,及至冷却到室温,得到金字塔型MoS2杀菌材料。
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