[发明专利]光阻实时检测装置、光阻实时检测方法及光阻涂布设备

摘要

本发明提供一种光阻实时检测装置，包括工台，设置于工台上的基板，口金，口金用于在基板上涂布光阻，工台上还设置有光学检测件和与光学检测件电连接的控制件，口金在基板沿第一方向上涂布光阻时，光学检测件对光阻进行检测，并反馈检测信号至控制件，控制件将检测信号与标准信号进行对比而确定光阻是否达标。本发明提供的一种光阻实时检测装置，通过设置光学检测件，并在口金涂布光阻时对光阻进行检测，光学检测件将检测信号反馈至控制件，控制件将检测信号与标准信号进行对比，达到了对光阻实时检测的目的，解除了抽检方式所存在的漏检风险，提高了产品的良率，对产能的影响小。本发明还提供了一种光阻实时检测方法及一种光阻涂布设备。 1

主权项

1.一种光阻实时检测装置，其特征在于，包括工台，设置于所述工台上的基板，口金，所述口金用于在所述基板上涂布光阻，所述工台上还设置有光学检测件和与所述光学检测件电连接的控制件，所述口金在所述基板沿第一方向上涂布光阻时，所述光学检测件对所述光阻进行检测，并反馈检测信号至所述控制件，所述控制件将所述检测信号与标准信号进行对比而确定所述光阻是否达标。

2.如权利要求1所述的光阻实时检测装置，其特征在于，所述控制件包括存储模块和信号处理模块，所述存储模块用于存储所述光学检测件所反馈的无缺陷光阻的标准信号，所述信号处理模块用于将所述检测信号与所述标准信号进行对比。

3.如权利要求1所述的光阻实时检测装置，其特征在于，所述光学检测件包括在所述基板两侧相对设置的光发射器和光接收器，所述光发射器发出光线，所述光线穿透所述光阻由所述光接收器接收，所述光发射器和所述光接收器跟随所述口金在所述第一方向同步移动。

4.如权利要求3所述的光阻实时检测装置，其特征在于，所述光接收器可将接收到的所述光线转换为电信号，并将所述电信号传输至所述控制件。

5.如权利要求3所述的光阻实时检测装置，其特征在于，所述光发射器和所述光接收器设置于导轨上，所述导轨设置于所述工台上且沿所述第一方向延伸。

6.一种光阻实时检测方法，其特征在于，包括以下步骤：

提供一光发射器和光接收器，所述光发射器和所述光接收器设置于工台上的基板相对的两侧；

在口金沿第一方向在所述基板上涂布光阻的同时，所述光发射器和所述光接收器跟随所述口金同步移动；

所述光发射器发出光线，所述光线穿透所述光阻由所述光接收器接收；

所述光接收器将接收到的所述光线转换为电信号，并将所述电信号传输至控制件；

所述控制件将所述电信号与标准信号进行对比，从而确定所述光阻是否达标。

7.如权利要求6所述的光阻实时检测方法，其特征在于，所述控制件包括存储模块和信号处理模块，所述存储模块存储所述光接收器传输的无缺陷光阻的标准信号，所述信号处理模块将所述电信号与所述标准信号进行对比。

8.如权利要求6所述的光阻实时检测方法，其特征在于，在所述工台上设置导轨，将所述导轨沿所述第一方向设置，将所述光发射器与所述光接收器设置于所述导轨上。

9.如权利要求8所述的光阻实时检测方法，其特征在于，所述导轨在所述工台上的位置可以调整。

10.一种光阻涂布设备，其特征在于，包括如权利要求1至5任一所述的光阻实时检测装置。