[发明专利]一种基于双层纳米光栅的微纳陀螺仪的加工方法

摘要

本发明公开一种基于双层纳米光栅的微纳陀螺仪的加工方法，包括以下步骤：首先清洗SOI晶圆，干燥，在SOI晶圆表面采用低压化学气相沉积方法沉积一层氮化硅作为第一层掩膜，接着在氮化硅掩膜表面旋涂光刻胶层，并固化；采用深硅刻蚀工艺在SOI晶圆器件层加工得到双质量微谐振器的结构；采用机械抛光减薄SOI晶圆，清洗表面，利用电子束曝光在光刻胶层上得到固定光栅的图案，在盖帽上表面喷涂光刻胶层，利用第四块光刻胶定义金属焊盘的位置，然后通过剥离工艺得到通孔内的金属焊盘，该金属焊盘通过引线键合与金属导线结合，实现器件层内外的电信号传输。本发明具有测量精度高、不受电磁干扰和便于批量生产优点，应用范围广，有着良好的市场前景。

主权项

1.一种基于双层纳米光栅的微纳陀螺仪，其特征在于：包括玻璃衬底(7)、支撑结构、双质量块微谐振器(1)和玻璃盖帽(5)，所述支撑结构为无顶箱体结构，玻璃衬底(7)、支撑结构和玻璃盖帽(5)由下至上依次连接形成空腔结构，双质量块微谐振器(1)设在支撑结构内；双质量块微谐振器(1)包括两组对称设置的微谐振器，每组微谐振器包括质量块(2)、驱动框架(3)、解耦梁(4)和可动光栅(8)，可动光栅(8)设在质量块(2)中心部，驱动框架(3)设在质量块(2)四周，解耦梁(4)设在质量块(2)外周四个拐角处，且分别与相邻两条边上的驱动框架(3)连接；每个可动光栅(8)正下方的支撑结构底部均设有固定光栅(9)；玻璃盖帽(5)上对应驱动框架(3)位置均匀设有电极通孔(6)，每个电极通孔(6)内均设有与驱动框架(3)相接的金属焊盘。