[发明专利]大口径光学元件超精密加工抛光机床

摘要

本发明涉及光学元件抛光技术领域，尤其是一种大口径光学元件超精密加工抛光机床，包括底座、设置在底座上的立柱及位于立柱顶端的横梁，主轴电机的输出端上传动连接有花键套，花键套内滑动设置有与其相配合的花键轴，抛光模的上表面固定有与其相匹配的磁性金属板，磁性金属板与花键轴的底端端部固定连接；平台上固定有工作台及用于吸附抛光模上磁性金属板的电磁吸盘，本发明利用电磁吸盘产生的磁力吸附抛光模上的磁性金属板，从而实现抛光模对光学元件的待抛光表面产生一定的压力，且抛光模对光学元件待抛光表面的压力较为均匀，有利于提高对光学元件的抛光精度。

主权项

一种大口径光学元件超精密加工抛光机床，其特征在于：包括底座(1)、设置在底座(1)上的立柱(2)及位于立柱(2)顶端的横梁(3)，所述横梁(3)上设置有X轴进给机构(4)，所述X轴进给机构(4)上设置有Z轴进给机构(5)，所述Z轴进给机构(5)上设置有主轴电机(7)，所述主轴电机(7)的输出端上传动连接有花键套(8)，所述花键套(8)内滑动设置有与其相配合的花键轴(9)，所述花键套(8)上螺纹连接有锁定螺钉(12)，所述锁定螺钉(12)的螺纹端端部抵在花键轴(9)上，所述花键轴(9)的底端设有抛光模(10)，所述抛光模(10)的上表面固定有与其相匹配的磁性金属板(11)，所述磁性金属板(11)与花键轴(9)的底端端部固定连接；所述底座(1)上设置有Y轴进给机构(6)，所述Y轴进给机构(6)上设置有平台(13)，所述平台(13)上固定有工作台(14)及用于吸附抛光模(10)上磁性金属板(11)的电磁吸盘(15)，所述电磁吸盘(15)位于工作台(14)的正下方。