[发明专利]一种用于高精度气体折射率测量的光路结构在审
| 申请号： | 201711404648.5 | 申请日： | 2017-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN108318420A | 公开（公告）日： | 2018-07-24 |
| 发明（设计）人： | 张铁犁;靳硕;刘晓旭;张修建;张鹏程;高翌春 | 申请（专利权）人： | 北京航天计量测试技术研究所;中国运载火箭技术研究院 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/45 |
| 代理公司： | 核工业专利中心 11007 | 代理人： | 吕岩甲 |
| 地址： | 100076 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明属于气体折射率测量技术领域，具体涉及一种用于高精度气体折射率测量的光路结构。激光光源发出频率稳定的线偏振光，经过分束镜分为测量光路和参考光路；参考光路由频率调制器进行频率调制，调制频率远低于激光频率，参考光路经分束镜分为两路：一路与测量光路分束后的一路汇合，入射到信号处理单元的光电探测器PD0中，作为干涉信号处理时的参考；另一路先经过半波片使光的偏振方向旋转90°，然后经过若干个分束镜和反射镜分为4的倍数路，与测量光路汇合入射到信号处理单元的光电探测器PD1～PDn中，n＝4i,i为整数。本发明通过多路测量光路对称分布以及多次外差的办法，剔除了各类误差对测量结果的影响，实现了气体折射率的高精度测量。 | ||
| 搜索关键词： | 气体折射率 测量光路 分束镜 信号处理单元 光电探测器 参考光路 光路结构 入射 汇合 测量 测量技术领域 高精度测量 频率调制器 调制频率 多路测量 方向旋转 光路对称 激光光源 激光频率 频率调制 频率稳定 线偏振光 信号处理 半波片 参考光 反射镜 分束 两路 偏振 外差 剔除 参考 干涉 | ||
【主权项】：
1.一种用于高精度气体折射率测量的光路结构，其特征在于：激光光源发出频率稳定的线偏振光，经过分束镜分为测量光路和参考光路；所述的参考光路由频率调制器进行频率调制，调制频率远低于激光频率，参考光路经分束镜分为两路：一路与测量光路分束后的一路汇合，入射到信号处理单元的光电探测器PD0中，作为干涉信号处理时的参考；另一路先经过半波片使光的偏振方向旋转90°，然后经过若干个分束镜和反射镜分为4的倍数路，与测量光路汇合入射到信号处理单元的光电探测器PD1～PDn中，n＝4i,i为整数；所述的测量光路由频率调制器进行频率调制，调制频率远低于激光频率，并与参考光路的调制频率存在频率差别Δf，测量光路经分束镜分为两路：一路与参考光路分束后的一路汇合，入射到信号处理单元的光电探测器PD0中，作为干涉信号处理时的参考；另一路经过若干个分束镜和反射镜分为4的倍数路，分束后的测量光路数量与参考光路数量相同，而后测量光路经过偏振分束镜射入真空腔，经真空腔中的反射镜反射后，由偏振分束镜反射，与参考光路汇合，最终入射到信号处理单元的光电探测器PD1～PDn中，n＝4i,i为整数。
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