[发明专利]一种双温区开启式滑轨炉在审
| 申请号： | 201711400523.5 | 申请日： | 2017-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN108151529A | 公开（公告）日： | 2018-06-12 |
| 发明（设计）人： | 王磊;王峥;方松;徐洋 | 申请（专利权）人： | 合肥费舍罗热工装备有限公司 |
| 主分类号： | F27B5/05 | 分类号： | F27B5/05;F27B5/02;F27B5/14;F27B5/16 |
| 代理公司： | 北京开林佰兴专利代理事务所(普通合伙) 11692 | 代理人： | 刘帅帅 |
| 地址： | 231200 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种双温区开启式滑轨炉，包括A炉、B炉、炉壳、真空气氛系统、温度控制系统和显示器，显示器设置在炉壳的中部，A炉和B炉均设置在炉壳内，A炉和B炉共用高纯度的石英管作为炉膛，石英管分别穿过A炉和B炉的加热腔，石英管的两端设置有用于密封炉膛的法兰，法兰的外侧设置有针阀，石英管的通气管道上还设置有真空压力表和扩展接口，A炉固定在B炉的一侧，B炉滑动设置在石英管上，A炉用于样品预热蒸发的工艺，B炉用于样品后续反应沉积的工艺，加热腔内的气体通过真空气氛系统控制形成反应气流，温度控制系统用于控制反应温度。本发明的方案能够使得周边拓展性好，加大对气体控制性。 | ||
| 搜索关键词： | 石英管 炉壳 温度控制系统 真空气氛 加热腔 开启式 双温区 法兰 滑轨 炉膛 显示器设置 真空压力表 反应沉积 反应气流 滑动设置 扩展接口 两端设置 密封炉膛 气体控制 气体通过 通气管道 外侧设置 系统控制 高纯度 拓展性 预热 针阀 显示器 蒸发 穿过 | ||
【主权项】：
一种双温区开启式滑轨炉，包括A炉、B炉、炉壳、真空气氛系统、温度控制系统和显示器，所述显示器设置在炉壳的中部，所述A炉和B炉均设置在炉壳内，其特征在于：所述A炉和B炉共用高纯度的石英管作为炉膛，所述石英管分别穿过A炉和B炉的加热腔，所述石英管的两端设置有用于密封炉膛的法兰，所述法兰的外侧设置有针阀，石英管的通气管道上还设置有真空压力表和扩展接口，所述A炉固定在B炉的一侧，所述B炉滑动设置在石英管上，所述A炉用于样品预热蒸发的工艺，所述B炉用于样品后续反应沉积的工艺，所述加热腔内的气体通过真空气氛系统控制形成反应气流，所述温度控制系统用于控制反应温度。
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