[发明专利]一种用于浸没式光刻具有自动除菌功能的超纯水制备装置

摘要

本发明涉及了一种用于浸没式光刻具有自动除菌功能的超纯水制备装置。本发明包括电子级厂务水水箱、纯水泵、流量控制计、自清洗温控单向阀、自清洗温控模块、紫外灯去总有机碳模块、脱氧模块、其他杂质去除模块、检测模块隔膜阀、检测模块、排水隔膜阀、出水隔膜阀、回水流量计、第一止回阀等。该发明通过通入升温梯度超纯水杀灭管路以及各级净水模块中的细菌，由于净水模块的生物膜是细菌滋生的主要附着地，通过对带膜组件的杀菌可除去大部分的细菌，并且通过一定的水循环流动，节省热能的消耗，可以在一定程度节省成本，具有极大的应用价值，使得水质到达浸没式光刻用超纯水总有机碳的要求。

主权项

一种用于浸没式光刻具有自动除菌功能的超纯水制备装置，包括电子级厂务水水箱、纯水泵、流量控制计、自清洗温控单向阀、自清洗温控模块、紫外灯去总有机碳模块、脱氧模块、其他杂质去除模块、检测模块隔膜阀、检测模块、排水隔膜阀、用水隔膜阀、回水流量计和止回阀；其特征在于：所述的电子级厂务水水箱上设置有第一入水口，电子级厂务水水箱出水口接纯水泵的入水口，纯水泵出水口接流量控制计的入水口；流量控制计出水口接紫外灯去总有机碳模块的入水口，紫外灯去总有机碳模块的出水口接脱气模块的入水口，脱气模块的出水口接其他杂质处理模块的入水口；其他杂质处理模块的出水口分为两路：一路通过检测模块隔膜阀接其他杂质去除模块的入水口；另一路与排水隔膜阀的入水口、用水隔膜阀的入水口连接后接回水流量计的入水口；其他杂质去除模块的出水口接排水隔膜阀的出水口后作为排水口；回水流量计的出水口通过止回阀接在流量控制计的出水口与总有机碳去除模块的入水口之间；用水隔膜阀的出水口作为用水口；自清洗温控模块通过自清洗温控单向阀接在流量控制计的出水口与总有机碳去除模块的入水口之间；自清洗温控模块上设置有第二入水口。纯水泵用于控制进水压力和流速，自清洗温控模块用于对装置内管路及器件进行灭菌处理；回水流量计用于控制回水流量，止回阀防止回水倒流；紫外灯去总有机碳模块用于对超纯水中的总有机碳和一些细菌进行去除；脱氧模块用于去除超纯水中残余的臭氧和紫外灯去总有机碳模块产生的二氧化碳，防止杂质引入后级模块；通过其他杂质处理模块对其他杂质进行去除，检测模块对水质进行实时的监控。