[发明专利]非接触式自动引弧系统及引弧方法有效
| 申请号： | 201711392074.4 | 申请日： | 2017-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN108165935B | 公开（公告）日： | 2019-10-18 |
| 发明（设计）人： | 叶伟;常红梅 | 申请（专利权）人： | 陕西理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 谈耀文 |
| 地址： | 723001 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开的非接触式自动引弧系统，包括圆环形且内部中空的屏蔽板、靶材、接触器、弧电源、真空室、电极控制电源和辅助电源，靶材穿过屏蔽板中心安装在靶座上，屏蔽板外圆周方向上均匀设置有三个引弧电极，接触器包括常开端和电磁线圈，常开端的一端连接交流电源，另一端并联辅助电源和电极控制电源，辅助电源的输出端分别连接到靶材和屏蔽板，电极控制电源的输出端分别连接到引弧电极和屏蔽板，接触器的电磁线圈一端连接靶材，另一端连接真空室，负极与靶材相连。本发明的非接触式自动引弧系统具有结构简单，解决了传统引弧装置中需较高的引弧电压和结构复杂的问题，成本低廉，安装和维护容易，提高了工作效率，有一定的社会经济效益。 | ||
| 搜索关键词： | 屏蔽板 靶材 自动引弧系统 电极控制 非接触式 辅助电源 一端连接 接触器 电源 电磁线圈 引弧电极 常开端 输出端 真空室 社会经济效益 负极 工作效率 交流电源 均匀设置 内部中空 引弧电压 引弧装置 中心安装 弧电源 外圆周 圆环形 并联 靶座 引弧 穿过 维护 | ||
【主权项】：
1.非接触式自动引弧系统，其特征在于，包括圆环形且内部中空的屏蔽板(1)、靶材(3)、接触器(8)、真空室(7)、弧电源(15)、电极控制电源(6)和辅助电源(2)，所述靶材(3)穿过屏蔽板(1)中心安装在靶座上，所述屏蔽板(1)外圆周方向上均匀设置有三个引弧电极(5)，所述接触器(8)包括常开端和电磁线圈，所述常开端的一端连接交流电源，另一端并联辅助电源(2)和电极控制电源(6)的输入端，所述辅助电源(2)的输出端分别连接到靶材(3)和屏蔽板(1)，所述电极控制电源(6)的输出端分别连接到引弧电极(5)和屏蔽板(1)，所述接触器(8)的电磁线圈一端连接靶材(3)，另一端连接真空室(7)，所述弧电源(15)的正极连接到真空室(7)，负极与靶材(3)相连，所述引弧电极(5)外壁上安装有绝缘套(4)，所述辅助电源(2)包括依次串联的变压器(12)、整流模块(13)和储能环节(14)，所述变压器(12)连接到接触器(8)的常开端，所述储能环节(14)一端与屏蔽板(1)相连，另一端与靶材(3)相连接。
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