[发明专利]自激励自检测探针及其制作方法有效
| 申请号： | 201711383160.9 | 申请日： | 2017-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN108120858B | 公开（公告）日： | 2020-05-26 |
| 发明（设计）人： | 杨晋玲;刘晓晨;朱银芳;张金英;杨富华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067;B81C1/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 汤宝平 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种自激励自检测探针，包括：一探针基座；一微悬臂梁，用作探测的基本部件，该微悬臂梁与探针基座一端的中间连接，该探针基座对微悬臂梁提供支撑；一探针针尖，位于微悬臂梁的自由端；在探针基座及微悬臂梁表面边缘上有金属导电线，该金属导电线覆盖探针针尖，探针针尖导电性好，可用于检测材料的电学性能；一惠斯通电桥，包括四个U型压阻，其对称分布于探针基座的上表面，其中一个为可变压阻，该可变压阻位于微悬臂梁支撑端应变最大处，可实现高灵敏和高精度的压阻检测。本发明其可减小探测器的体积，实现探测设备的便携化，保证检测的精确度和灵敏度，工艺方法简单，适合批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 激励 检测 探针 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种自激励自检测探针，包括：一探针基座；一微悬臂梁，用作探测的基本部件，该微悬臂梁与探针基座一端的中间连接，该探针基座对微悬臂梁提供支撑；一探针针尖，位于微悬臂梁的自由端；在探针基座及微悬臂梁表面边缘上有金属导电线，该金属导电线覆盖探针针尖，探针针尖导电性好，可用于检测材料的电学性能；一惠斯通电桥，包括四个U型压阻，其对称分布于探针基座的上表面，其中一个为可变压阻，该可变压阻位于微悬臂梁支撑端应变最大处，可实现高灵敏和高精度的压阻检测。
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