[发明专利]基于八边形热敏电阻结构的风速风向传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201711380351.X | 申请日： | 2017-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN108226568A | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 易真翔;叶一舟;秦明;黄庆安 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01P5/12 | 分类号： | G01P5/12;G01P13/02 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 冯艳芬 |
| 地址： | 210000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于八边形热敏电阻结构的风速风向传感器及其制备方法，其中传感器包括硅衬底、位于硅衬底上方的绝缘层、以及位于绝缘层上的加热电阻和8个热敏电阻，所述加热电阻的形状为正八边形，正八边形的每条边外侧对应设置有一个与该边倾斜角度一致的热敏电阻。本发明精度和灵敏度更高。 | ||
| 搜索关键词： | 绝缘层 风速风向传感器 热敏电阻结构 加热电阻 热敏电阻 正八边形 八边形 硅衬底 制备 角度一致 灵敏度 传感器 条边 | ||
【主权项】：
1.一种基于八边形热敏电阻结构的风速风向传感器，其特征在于：包括硅衬底、位于硅衬底上方的绝缘层、以及位于绝缘层上的加热电阻和8个热敏电阻，所述加热电阻的形状为正八边形，正八边形的每条边外侧对应设置有一个与该边倾斜角度一致的热敏电阻。
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