[发明专利]一种用于检测双层基板边缘缺陷的装置及检测方法在审
| 申请号： | 201711374137.3 | 申请日： | 2017-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN107843604A | 公开（公告）日： | 2018-03-27 |
| 发明（设计）人： | 杨凯峰;杨慎东;郭连俊 | 申请（专利权）人： | 苏州精濑光电有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/958 |
| 代理公司： | 苏州知途知识产权代理事务所(普通合伙)32299 | 代理人： | 马刚强 |
| 地址： | 215100 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于检测双层基板边缘缺陷的装置及其检测方法，包括第一摄像单元和第二摄像单元，且所述第一摄像单元的第一中心线和第二摄像单元的第二中心线分别与基板边缘法线的平面成第一夹角和第二夹角；照明单元发出的光通过双层基板的边缘到达第一摄像单元和第二摄像单元，从而避免第一基板和第二基板的相互干扰，可直接通过图像分析检测双层基板边缘的缺陷，具有检测结果准确、检测快速的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 检测 双层 边缘 缺陷 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种用于检测双层基板边缘缺陷的装置，所述双层基板包括第一基板和与其平行设置的第二基板，其特征在于，还包括检测装置，所述检测装置设在双层基板的一侧，所述检测装置包括第一摄像单元和第二摄像单元，且所述第一摄像单元的第一中心线和第二摄像单元的第二中心线分别与基板边缘法线的平面成第一夹角和第二夹角。
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