[发明专利]一种有效调控微腔腔长的方法在审
| 申请号： | 201711359531.X | 申请日： | 2017-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN109936045A | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 廖清;任佳欢;付红兵 | 申请（专利权）人： | 首都师范大学 |
| 主分类号： | H01S3/08 | 分类号： | H01S3/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100048 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种有效调控微腔腔长的方法。该方法是通过旋涂办法实现的，包括如下步骤：将PS溶于甲苯溶剂中，其次将有机分子溶于PS甲苯溶液中，加热使其全部溶解，形成混合溶液；在将配制好的混合溶液旋涂于80nm银膜上，通过控制甩膜仪转速与PS甲苯溶液的浓度来有效控制掺杂薄膜厚度，从而达到有效控制腔长的目的，再在有机薄膜上蒸镀上30nm银膜从而构成平板微腔，最后测试在不同腔长下的微腔中强耦合现象。在该方法中，所用设备简单，快速方便，操作简单，成本低，可重复性非常高，并且薄膜粗糙度小，整个微腔的品质因子较高，对实现全金属微腔中的强耦合具有较高的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 微腔 腔长 混合溶液 甲苯溶液 有效调控 有效控制 强耦合 旋涂 银膜 薄膜粗糙度 甲苯溶剂 可重复性 品质因子 所用设备 有机薄膜 有机分子 全金属 甩膜 蒸镀 薄膜 加热 配制 掺杂 溶解 测试 应用 | ||
【主权项】：
1.一种有效调控微腔腔长的方法，包括如下步骤：在室温条件下，将有机分子溶于制备好的PS甲苯溶液中，加热使有机分子充分溶于PS甲苯溶液中，形成混合溶液；之后将配好的前述混合溶液旋涂于银膜上，通过控制甩膜仪的转速与控制PS甲苯溶液的浓度来控制所甩薄膜的厚度；最后在真空条件下，在薄膜上蒸镀上银膜就构成了微腔结构，通过控制所甩薄膜的厚度来有效控制腔长。
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