[发明专利]一种由叠堆压电陶瓷驱动的MEMS微结构三轴式底座激励装置

摘要

本发明公开了一种由叠堆压电陶瓷驱动的MEMS微结构三轴式底座激励装置，包括套筒、压电陶瓷、压力传感器、上、下联接块、钢球以及弹性支撑件和MEMS微结构；在套筒两端分别设有环形顶板和底板，微结构通过弹性支撑件设在顶板上；在环形顶板和底板之间均布有导向轴，下联接块外缘均布有导向支臂且分别由套筒壁上穿过并套在导向轴上，在导向支臂上分别设有锁紧装置；在上联接块和下联接块上分别设有锥形凹槽和球面凹槽；压电陶瓷夹在压力传感器与弹性支撑件之间。该装置能够对叠堆压电陶瓷施加不同大小的预紧力，同时使所获得的预紧力测量值更加准确，可使补偿叠堆压电陶瓷两工作表面平行度误差的调节过程变得更加顺畅和平滑，便于测试动态特性参数。

主权项

1.一种由叠堆压电陶瓷驱动的MEMS微结构三轴式底座激励装置，包括套筒，在套筒内设有叠堆压电陶瓷、压力传感器以及由上联接块、钢球和下联接块构成的可动底座，在套筒上面设有弹性支撑件和MEMS微结构，其特征是：在套筒上、下端分别设有环形顶板和底板，所述MEMS微结构通过弹性支撑件安装在环形顶板上；在环形顶板和底板之间位于套筒外面圆周均布有导向轴，在套筒壁上沿圆周方向均布有与导向轴一一对应的U型豁口，所述下联接块外缘圆周均布有导向支臂且每个导向支臂分别由对应的U型豁口穿过并套装在导向轴上，在每个导向支臂上位于导向轴处分别设有锁紧装置，用于将下联接块固定在导向轴上；在上联接块和下联接块的相对面上分别设有锥形凹槽和球面凹槽，所述钢球的半径小于球面凹槽的曲率半径并夹持在锥形凹槽和球面凹槽之间，通过钢球使上、下联接块之间形成一个调整间隙；所述压力传感器镶装在上联接块顶面的中心孔内，叠堆压电陶瓷夹持在压力传感器与弹性支撑件之间；在导向轴上分别套设有滑动座，所述上联接块与每个滑动座分别通过圆周均布连接在上联接块外缘并贯穿U型豁口的拉簧连接；用于辅助可动底座补偿叠堆压电陶瓷两工作表面平行度误差的调节。