[发明专利]一种等离激元增强型深紫外探测器及其制作方法有效
| 申请号： | 201711340060.8 | 申请日： | 2017-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN109962125B | 公开（公告）日： | 2021-02-23 |
| 发明（设计）人： | 黄增立;许蕾蕾;刘通;赵弇斐;丁孙安 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | H01L31/109 | 分类号： | H01L31/109;H01L31/18 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 王茹;王锋 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种等离激元增强型深紫外探测器、其制备方法及应用。所述等离激元增强型深紫外探测器包括包括异质结、插齿电极及周期性金属颗粒阵列，所述插齿电极形成于所述异质结上，所述周期性金属颗粒阵列形成于所述插齿电极之间。本发明利用金属颗粒所产生的局域等离激元和金属颗粒阵列所产生的等离激元周期性衍射共振模式，将两种紫外波段的入射光耦合到金属纳米结构，来实现探测器表面两种紫外波段的光场增强，提高探测器材料对入射光的吸收率，改善深紫外探测器对两种波长的光响应度；并且通过调节金属颗粒的周期和尺寸能够实现等离激元共振和镓氮/铝镓氮探测器探测波长的耦合。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离激元 增强 深紫 探测器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种等离激元增强型深紫外探测器，其特征在于包括异质结、插齿电极及周期性金属颗粒阵列，所述插齿电极形成于所述异质结上，所述周期性金属颗粒阵列形成于所述插齿电极之间。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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