[发明专利]一种制备薄膜太阳能电池的方法在审

专利信息
申请号: 201711330314.8 申请日: 2017-12-13
公开(公告)号: CN109920865A 公开(公告)日: 2019-06-21
发明(设计)人: 祝海生;黄乐;陈立;凌云;黄夏;孙桂红;黄国兴 申请(专利权)人: 湘潭宏大真空技术股份有限公司
主分类号: H01L31/0392 分类号: H01L31/0392;H01L31/18
代理公司: 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 代理人: 安曼
地址: 411100 湖*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 发明公开了一种制备薄膜太阳能电池的方法,所述将Mo层真空磁控溅射在基板上之后,真空蒸镀CIGS吸收层,后真空磁控溅射ZnO缓冲层,闪灯退火后再次磁控溅镀AZO层,得到烧结后的CIGS太阳能电池板。与现有技术相比,本发明采用蒸镀与闪灯退火工艺相结合的蒸镀方法,不仅可以实现CIGS太阳能电池的连续镀膜过程,同时还可以通过及时退火时膜系的性能保持在最佳状态,不受多次温度的改变和膜系的制作方式的影响,通过本发明制备出的太阳能电池板,其太阳能转化效率可以达到20%,以转化率长期保持着国内领先水平,镀膜均匀性达到90%。
搜索关键词: 制备 薄膜太阳能电池 退火 真空磁控溅射 膜系 闪灯 蒸镀 太阳能转化效率 太阳能电池板 镀膜均匀性 磁控溅镀 连续镀膜 退火工艺 性能保持 真空蒸镀 烧结 吸收层 基板 制作
【主权项】:
1.一种制备薄膜太阳能电池的方法,其特征在于,所述将Mo层真空磁控溅射在基板上之后,真空蒸镀CIGS吸收层,后真空磁控溅射ZnO缓冲层,闪灯退火后再次磁控溅镀AZO层,得到烧结后的CIGS太阳能电池板。
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