[发明专利]一种用于固晶机的推顶系统

摘要

本发明公开了一种用于固晶机的推顶系统。推顶系统包括顶针和驱动装置，还包括一导轨座，所述驱动装置驱动一移动座在导轨座内上下运动，所述导轨座具有空腔，所述导轨座上空腔两侧设置有滑轨，所述移动座两侧均与滑轨相连，所述导轨座两侧设置有固定座，所述固定座上设置有通孔，所述通孔连接真空设备，所述移动座上设置有顶针。本发明的结构简单，通过连接真空设备的通孔吸附晶片薄膜，导轨座和固定座分开设置，减少通孔处的真空对晶片产生的影响，避免了晶片被吸附，从而提高了工作效率，同时，通过设置滑轨和移动座，顶针不易发生倾斜。

主权项

1.一种用于固晶机的推顶系统，包括顶针和驱动装置，其特征是，还包括一导轨座，所述驱动装置驱动一移动座在导轨座内上下运动，所述导轨座具有空腔，所述导轨座上空腔两侧设置有滑轨，所述移动座两侧均与滑轨相连，所述导轨座两侧设置有固定座，所述固定座上设置有通孔，所述通孔连接真空设备，所述移动座上设置有顶针。