[发明专利]显示面板的制备方法有效
| 申请号： | 201711320080.9 | 申请日： | 2017-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN108054141B | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 徐向阳 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/77 | 分类号： | H01L21/77 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;熊永强 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种显示面板的制备方法，所述显示面板的制备方法包括：提供基板，所述基板包括显示区及设置在所述显示区外围的绑定区；在所述基板的显示区形成薄膜晶体管层，所述薄膜晶体管层包括薄膜晶体管；在所述薄膜晶体管层远离所述基板的一侧且对应所述显示区以及所述绑定区形成有机平坦层；提供曝光机，所述曝光机包括放置台、挡板和光源，所述放置台用于放置形成有所述有机平坦层的基板；以所述挡板为掩膜，开启所述光源，以将所述绑定区的有机平坦层去除。本发明的显示面板的制备方法有利于降低制备出的显示面板的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 显示 面板 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种显示面板的制备方法，其特征在于，所述显示面板的制备方法包括：提供基板，所述基板包括显示区及设置在所述显示区外围的绑定区；在所述基板的显示区形成薄膜晶体管层，所述薄膜晶体管层包括薄膜晶体管；在所述薄膜晶体管层远离所述基板的一侧且对应所述显示区以及所述绑定区形成有机平坦层；提供曝光机，所述曝光机包括放置台、挡板和光源，所述放置台用于放置形成有所述有机平坦层的基板；以所述挡板为掩膜，开启所述光源，以将所述绑定区的有机平坦层去除。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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