[发明专利]晶圆载台系统及具有该晶圆载台系统的曝光机有效
| 申请号： | 201711316127.4 | 申请日： | 2017-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN109917620B | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市铸成律师事务所 11313 | 代理人： | 张臻贤;李够生 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种晶圆载台系统及具有该晶圆载台系统的曝光机，晶圆载台系统包括工作台，设置于晶圆载台上，用于承载晶圆；间隙补偿装置，围绕工作台而设置于晶圆载台上，间隙补偿装置中具有第一中空区域，工作台位于第一中空区域中，第一中空区域的外缘由间隙补偿装置的第一内侧壁构成，第一内侧壁围成的形状与晶圆的外缘形状相对应。曝光机包括上述晶圆载台系统。本发明实施例中的晶圆载台系统能够最大限度地减少液体与晶圆边缘的相互作用，避免在曝光期间晶圆边缘上的颗粒剥落，使得晶圆表面的桥接缺陷得到改善。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆载台 系统 具有 曝光 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆载台系统，其特征在于，包括：工作台，设置于晶圆载台上，用于承载晶圆；间隙补偿装置，围绕所述工作台而设置于所述晶圆载台上，所述间隙补偿装置中具有第一中空区域，所述工作台位于所述第一中空区域中，所述第一中空区域的外缘由所述间隙补偿装置的第一内侧壁构成，所述第一内侧壁围成的形状与所述晶圆的外缘形状相对应。
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