[发明专利]基于蓝宝石基底的独立型3ω热物性测量装置和方法有效
| 申请号： | 201711290782.7 | 申请日： | 2017-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN108051476B | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 郑兴华;王亮;陈海生;李燊;林曦鹏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院工程热物理研究所 |
| 主分类号： | G01N25/20 | 分类号： | G01N25/20;G01N25/18 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 曹玲柱 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种基于蓝宝石基底的独立型3ω热物性测量装置和方法。该独立型3ω热物性测量装置包括：腔体端盖，其具有向一侧突出的中空凸台，整体呈凸字形，中空凸台的端部开设凹槽；真空腔体，固定于腔体端盖的另一侧，真空腔体的腔体壁上开设抽真空连接孔；以及蓝宝石基底探测器，设置于腔体端盖的凹槽上，包括：蓝宝石基底：以及金属探测器，形成于基底上朝向真空腔体内部的一侧，金属探测器通过其上的引线端连接至一谐波测量单元。本公开使用蓝宝石基底探测器，采用单侧测量方式，提高了测量精度和检测速率，减少了所需的待测样品量，提高了测量装置的耐用性。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 蓝宝石 基底 独立 物性 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于蓝宝石基底的独立型3ω热物性测量装置，包括：腔体端盖，所述腔体端盖具有向一侧突出的中空凸台，整体呈凸字形，中空凸台的端部开设凹槽；真空腔体，固定于腔体端盖的另一侧，所述真空腔体的腔体壁上开设抽真空连接孔；以及蓝宝石基底探测器，设置于所述腔体端盖的凹槽上，包括：蓝宝石基底：以及金属探测器，形成于基底上朝向真空腔体内部的一侧，所述金属探测器通过其上的引线端连接至一谐波测量单元。
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