[发明专利]一种具有多孔结构的铂族合金纳米颗粒及其制备方法有效
| 申请号： | 201711278568.X | 申请日： | 2017-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN108031832B | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | 毛遂;唐建国;王瑶;焦吉庆;王久兴 | 申请（专利权）人： | 青岛大学 |
| 主分类号： | B22F1/00 | 分类号： | B22F1/00;B22F9/16;C23C14/34;B82Y30/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 上海旭诚知识产权代理有限公司 31220 | 代理人： | 郑立 |
| 地址： | 266071 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有多孔结构的铂族合金纳米颗粒及其制备方法，制备过程主要包括衬底表面预处理、表面合金薄膜和合金纳米颗粒的制备、合金纳米颗粒的解元多孔化等步骤，最终得到具有多孔结构的铂族合金纳米颗粒，本发明利用合金组元刻蚀的方法，在控制纳米颗粒粒径大小密度的同时，通过合金组分的增减，调节孔径大小密度，从而调节纳米结构的表面粗糙度，获得可控的纳米颗粒表面积，弥补了现行物理气相淀积制备中，金属纳米颗粒表面积不可调节的缺陷，减少了铂族金属的使用代价，提升使用效率，降低整体方案的成本，该制备方法可集成于集成电路设计工艺之中，适用于光电器件的表面光学性质调控。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 多孔 结构 合金 纳米 颗粒 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种具有多孔结构的铂族合金纳米颗粒制备方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤一，采用直流离子溅射装置在衬底上制备合金薄膜，然后在真空状态或保护气体气氛下，加热温度为300～900℃，通过热固态结晶生长的方式在所述衬底上制备得到合金纳米颗粒；步骤二，将所述合金纳米颗粒浸入酸液中，进行合金解元，充分反应后，制备得到具有表面孔洞的合金纳米颗粒。
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