[发明专利]一种金属连线恒温电迁移测试结构有效
| 申请号： | 201711240650.3 | 申请日： | 2017-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN107978587B | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 王焱;陈雷刚;周柯;高金德 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出一种金属连线恒温电迁移测试结构，包括：下层金属测试线、金属通孔、下层金属连线、上层金属连线、测试金属垫、散热结构，其中所述下层金属测试线的两端连接于下层金属连线，所述下层金属连线分别通过金属通孔连接于所述上层金属连线，所述两条上层金属连线分别连接至测试金属垫，所述散热结构设置于所述下层金属连线和上层金属连线周围。本发明提出的金属连线恒温电迁移测试结构，用于解决现有技术中因为水库效应和金属引线温度较高引起的难以达成电迁移可靠性测试的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 连线 恒温 迁移 测试 结构 | ||
【主权项】：
一种金属连线恒温电迁移测试结构，其特征在于，包括：下层金属测试线、金属通孔、下层金属连线、上层金属连线、测试金属垫、散热结构，其中所述下层金属测试线的两端连接于下层金属连线，所述下层金属连线分别通过金属通孔连接于所述上层金属连线，所述两条上层金属连线分别连接至测试金属垫，所述散热结构设置于所述下层金属连线和上层金属连线周围。
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