[发明专利]一种钌溅射靶材的制备方法有效
| 申请号： | 201711238266.X | 申请日： | 2017-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN107805789B | 公开（公告）日： | 2019-09-03 |
| 发明（设计）人： | 文崇斌;朱刘;于金凤;余芳;曾成亮;程其兵 | 申请（专利权）人： | 清远先导材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 赵青朵 |
| 地址： | 511517 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种钌溅射靶材的制备方法，包括以下步骤：将粒度≤325目的钌粉冷压成型，冷压压力为250～350MPa，得到钌坯；将钌坯进行抽真空至0.008～0.12Pa后以10～20℃/min升温至790～820℃，保温30～50min后，再以5～10℃/min升温至第一温度加压，加压压力为50～70MPa；继续升温至第二温度，保温120～180min；第一温度为1000～1200℃，第二温度为1200～1350℃；最后以5～8℃/min降温至1000～1100℃，保温55～65min，卸掉压力，得到钌溅射靶材。该发明在上述工艺下制得的钌溅射靶材具有较高的密度。其相对密度大于99.5％。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射靶材 保温 制备 加压压力 冷压成型 抽真空 冷压 加压 | ||
【主权项】：
1.一种钌溅射靶材的制备方法，包括以下步骤：将粒度≤325目的钌粉冷压成型，冷压压力为250～350MPa，得到钌坯；所述冷压成型的压制时间为15～20min；将所述钌坯进行抽真空至0.008～0.12Pa后以10～20℃/min升温至790～820℃，保温30～50min后，再以5～10℃/min升温至第一温度加压，加压压力为50～70MPa；继续升温至第二温度，保温120～180min；第一温度为1000～1200℃，第二温度为1200～1350℃；最后以5～8℃/min降温至1000～1100℃，保温55～65min后，卸掉压力，随真空热压炉降温，降温至10～40℃后，脱模，得到钌溅射靶材。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于清远先导材料有限公司，未经清远先导材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711238266.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种漂白粉生产用输料装置
- 下一篇：一种含纱线的水刺无纺布及制作方法
- 同类专利
- 专利分类
