[发明专利]一种碳化硅线性温度传感器及其测温方法和制造方法有效
申请号: | 201711211023.7 | 申请日: | 2017-11-27 |
公开(公告)号: | CN107957299B | 公开(公告)日: | 2019-12-27 |
发明(设计)人: | 张有润;顾航;陈航;路统霄;胡刚毅;李俊焘;张波 | 申请(专利权)人: | 电子科技大学 |
主分类号: | G01K7/01 | 分类号: | G01K7/01;H01L29/47;H01L29/872 |
代理公司: | 51232 成都点睛专利代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 葛启函 |
地址: | 611731 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 一种碳化硅线性温度传感器及其测温方法和制造方法,属于半导体器件技术领域。本发明包括碳化硅N | ||
搜索关键词: | 一种 碳化硅 线性 温度传感器 及其 测温 方法 制造 | ||
【主权项】:
1.一种碳化硅线性温度传感器,其特征在于:包括碳化硅N+衬底(1),碳化硅N+衬底(1)上方具有碳化硅N
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