[发明专利]一种低轴间耦合的三维电场传感器有效
| 申请号： | 201711202281.9 | 申请日： | 2017-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN107907749B | 公开（公告）日： | 2021-02-23 |
| 发明（设计）人： | 夏善红;凌必赟;彭春荣 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电子学研究所 |
| 主分类号： | G01R29/12 | 分类号： | G01R29/12 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周天宇 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种低轴间耦合的三维电场传感器，其三组电场敏感单元均采用轴对称差分设计，用于测量垂直于对称轴方向的面内电场分量，并且抵消垂直于电场敏感单元的电场分量和平行于对称轴的电场分量的耦合。每一个电场敏感单元的结构包括：轴对称的基底板；至少一对感应电极和至少一对驱动电极，均对称布置在基底对称轴的两侧；振动板，沿着基底板对称轴对称布置，用于在驱动电极的驱动下做水平或竖直方向的平动，从而调制感应电极的电场分布。本发明实现了对三维电场的测量，并从结构设计上降低了轴间耦合。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 低轴间 耦合 三维 电场 传感器 | ||
【主权项】：
一种低轴间耦合的三维电场传感器，包括三组电场敏感单元，所述三组电场敏感单元的测量轴相互垂直，分别用于测量X、Y和Z三个相互垂直方向的电场；其中，所述电场敏感单元包括：轴对称结构的基底板；以及轴对称差分结构的电场敏感部，该电场敏感部位于所述基底板表面，且其对称轴与所述基底板的对称轴重合。
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