[发明专利]一种银纳米线微图案化的制备方法

摘要

本发明公开了一种银纳米线微图案化的制备方法，步骤如下：a.将硅片光刻；b.将光刻后的硅片放在模具中，倒入PDMS和固化剂加热；c.将PDMS印章清洗，再用氧气等离子体处理，放入模具中，倒入琼脂溶液，固化成型后放入硝酸铁溶液中浸泡；d.恒温加热乙二醇再加入硝酸银溶液和PVP溶液反应，再分散在乙醇中；e.将银纳米线乙醇分散液滴在玻璃片上旋涂；f.将琼脂块取出，晾干后将旋涂后的玻璃片和琼脂有图案的一面接触，剥离即可得所需的图案。本发明使用了光刻技术和琼脂水凝胶结合的方法，在温和条件下，制备出具有高精度的银纳米线的微图案。相对于传统光刻方法，这种方法图案化速度更快，可重复利用，操作简便，可大批量生产。

主权项

1.一种银纳米线微图案化的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：a.光刻：将硅片依次进行匀胶、甩胶、前烘、曝光、后烘、显影；b.翻模到PDMS：将光刻后的硅片放在模具中，倒入PDMS和固化剂，再放在加热板上加 热，剥离得到PDMS印章；c.翻模到琼脂水凝胶：将得到的PDMS印章分别用丙酮和异丙醇清洗，再用氧气等离子体处理，然后放入模具中，再将浓度为6‑10%琼脂溶液倒入模具中，固化成型后切块，再放入浓度为40‑60% 的硝酸铁溶液中浸泡以充分吸取硝酸铁溶液，得到带有微图案的琼脂块；d.银纳米线的制备：搅拌下，将乙二醇加热至150‑200℃，恒温1‑1.5h再分别加入硝酸银溶液和PVP溶液反应，反应后冷却、洗涤、离心、分散在乙醇中，得到银纳米线乙醇分散液；e.银纳米线的旋涂：将银纳米线乙醇分散液滴在洗净的玻璃片上用旋涂仪旋涂；f.图案的刻蚀：用镊子将带有微图案的琼脂块取出，放在滤纸上晾干，然后将旋涂后的玻璃片和琼脂有图案的一面接触，剥离即可得到所需要的图案。