[发明专利]一种ZnO透明导电薄膜及其制备方法在审
| 申请号： | 201711173710.4 | 申请日： | 2017-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN107881470A | 公开（公告）日： | 2018-04-06 |
| 发明（设计）人： | 朱秋华 | 申请（专利权）人： | 朱秋华 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/18 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司11659 | 代理人： | 徐鹏飞 |
| 地址： | 214000 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种ZnO透明导电薄膜，其特征在于，包括衬底；第一类型外延层，位于所述衬底上；镀Au结构层，位于所述第一类型外延层上远离所述衬底的一侧；第二类型外延层，位于所述镀Au结构层上远离所述镀Au结构层的一侧。因此，本发明实施例通过在石英衬底上制备出了具有三明治结构的ZnO/Au/ZnO薄膜，通过在两层ZnO薄膜之间掺入一层镀Au结构层，Au元素的存在提高了ZnO薄膜的导电能力，可以保证ZnO薄膜在较低厚度的情况下，仍具有较高的导电性能，解决了ZnO薄膜在厚度很小的情况下电阻率较高的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 zno 透明 导电 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种ZnO透明导电薄膜，其特征在于，包括：衬底；第一类型外延层，位于所述衬底上；镀Au结构层，位于所述第一类型外延层上远离所述衬底的一侧；第二类型外延层，位于所述镀Au结构层上远离所述镀Au结构层的一侧。
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