[发明专利]一种器件质子单粒子效应截面的获取方法有效
| 申请号： | 201711173677.5 | 申请日： | 2017-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN108008289B | 公开（公告）日： | 2019-12-27 |
| 发明（设计）人： | 罗尹虹;郭红霞;张凤祁;陈伟;潘霄宇 | 申请（专利权）人： | 西北核技术研究所 |
| 主分类号： | G01R31/302 | 分类号： | G01R31/302;G01R31/28;G01T1/34 |
| 代理公司： | 61211 西安智邦专利商标代理有限公司 | 代理人： | 汪海艳 |
| 地址： | 710024 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种器件质子单粒子效应截面的获取方法，所述方法包括：对器件进行重离子单粒子效应实验，获取重离子单粒子效应截面实验数据；对实验数据利用威布尔函数进行拟合，得到拟合后的重离子单粒子效应截面函数；构建包含多层金属布线层的器件结构，利用蒙特卡洛粒子输运模拟计算能量为E的质子与材料发生核反应，在器件硅区处产生LET为L的次级粒子概率p(E | ||
| 搜索关键词： | 一种 器件 质子 粒子 效应 截面 获取 方法 | ||
【主权项】：
1.一种器件质子单粒子效应截面的获取方法，其特征在于，包括以下步骤：/n步骤一：对待测器件进行重离子单粒子效应实验，获取重离子单粒子效应截面函数；/n步骤二：构建器件结构，模拟计算质子与构建器件材料在不同能量下发生核反应产生的次级粒子概率函数；/n步骤三：对步骤一获取的重离子单粒子效应截面函数与步骤二得到的次级粒子概率函数的乘积积分，得到待测器件质子单粒子效应截面；/n所述步骤一具体为：/n1.1】对待测器件进行重离子单粒子效应实验，获取至少5个LET值下的重离子单粒子效应截面实验数据；/n1.2】对步骤1.1】获取的实验数据利用威布尔函数进行拟合，得到拟合后的重离子单粒子效应截面函数σ
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