[发明专利]一种低交叉轴灵敏度压阻式加速度计结构及制作方法在审
| 申请号： | 201711162951.9 | 申请日： | 2017-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN108008150A | 公开（公告）日： | 2018-05-08 |
| 发明（设计）人： | 韩建强;牛文举;赵正前 | 申请（专利权）人： | 中国计量大学 |
| 主分类号： | G01P15/12 | 分类号： | G01P15/12;G01P15/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种低交叉轴灵敏度压阻式加速度计的结构及制作方法，属于微电子机械系统领域。低交叉轴灵敏度压阻式加速度计由一个质量块(1)、八个支撑梁(2)、四个传感梁(3)和框架(4)组成。质量块(1)的重心位于支撑梁(2)的中性面内。传感梁(3)的上表面位于芯片表面以便于在其表面制作压敏电阻(5)。传感梁(3)的厚度远小于支撑梁(2)的厚度。在垂直芯片表面的Z轴加速度作用下，质量块(1)在Z轴方向运动带动传感梁(3)一起运动，通过压敏电阻(5)检测传感梁(3)的应变，从而得到Z轴加速度的大小。由于质量块(1)的重心位于支撑梁(2)的中性面内，在芯片表面内X轴或Y轴加速度作用下质量块(1)的偏转角度很小，从而具有较小的交叉轴灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 交叉 灵敏度 压阻式 加速度计 结构 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种低交叉轴灵敏度压阻式加速度计结构及制作方法，其特征在于：所述的低交叉轴灵敏度压阻式加速度计由一个质量块(1)、八个支撑梁(2)、四个传感梁(3)和框架(4)组成；质量块(1)的重心位于支撑梁(2)的中性平面内；传感梁(3)的上表面位于芯片表面以便于在其表面制作压敏电阻(5)；传感梁(3)的厚度远小于支撑梁(2)的厚度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国计量大学，未经中国计量大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711162951.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：空心板的叠层式制备方法
- 下一篇：透明导电膜及其电子装置
