[发明专利]一种超精密机床环境温度控制系统

摘要

本发明属于环境温度控制技术，涉及一种超精密机床的环境温度控制系统。其特征在于在操作间(1)有一个超净间(2)，超净间(2)的超净间地板(6)和墙壁与操作间(1)之间留有气路通道(5)，在超净间天花板(3)上有垂直悬吊的4根～20根电缆(7)，在每根电缆上设置有高低两个温度传感器(8)。本发明提出了一种超精密机床的环境温度控制系统，能全面准确地反映机床周围环境温度场的时间、空间等动态信息；实现了主动、前馈、综合、动态温度精确控制；能够根据机床工作的不同状态进行精密控制；减小了温控系统精度波动和能源浪费。

主权项

一种超精密机床环境温度控制系统，包括操作间(1)、控制台(9)、恒温恒湿空调装置(10)、进气管路(11)和回气管路(12)；控制台(9)控制恒温恒湿空调装置(10)的工作状态，恒温恒湿空调装置(10)的出气口与进气管路(11)的进气端口连通，进气管路(11)的出气端口与操作间(1)顶部的操作间进气口连通，回气管路(12)的第2端口与恒温恒湿空调装置(10)的回气口连通；其特征在于：在操作间(1)有一个超净间(2)，超净间(2)的超净间地板(6)与操作间(1)的地板之间、超净间(2)的墙壁与操作间(1)的墙壁留有气路通道(5)，超净间(2)的超净间地板(6)和超净间天花板(3)上带有均匀分布的通气孔，超净间天花板(3)与操作间(1)的天花板之间是管道安装间，操作间进气口与管道安装间连通，管道安装间的墙壁上有均匀分布的管道安装间通气孔，该管道安装间通气孔与气路通道(5)连通；回气管路(12)的第1端口与管道安装间所邻接的气路通道(5)连通；超精密机床(13)安装在超净间地板(6)上，在超净间天花板(3)上分布有垂直悬吊的4根～20根电缆(7)，在每根电缆上设置有高低两个温度传感器(8)，位置较高的温度传感器(8)的高度高于超精密机床(13)的最大高度，位置较低的温度传感器(8)不高于超精密机床(13)主轴的高度，电缆(7)围绕超精密机床(13)均布，温度传感器(8)的信号输出端通过导线与控制台(9)的温度传感器信号输入端连接。