[发明专利]一种基于MEMS微镜的光声内窥显微成像装置及其成像方法

摘要

一种基于MEMS微镜的光声内窥显微成像装置及其成像方法，属于光声显微成像技术领域。包括激光光源组件、单模光纤耦合组件、内窥镜探头组件、MEMS微镜组件、数据采集组件和计算机，MEMS微镜组件包括MEMS微镜和PCB驱动电路板，PCB驱动电路板由计算机控制用于驱动MEMS微镜转动；内窥镜探头组件包括透光反声支架，透光反声支架出光口设置目标样品；计算机控制激光光源组件产生脉冲激光，经单模光纤耦合组件准直后到达MEMS微镜的中心并反射到透光反声支架的进光口，穿过透光反声支架并与出光口的目标样品反应产生光声信号，光声信号经透光反声支架后被数据采集组件采集并由计算机存储和处理。本发明能够实现更精准和更快速的2D扫描，提高了成像质量。

主权项

一种基于MEMS微镜的光声内窥显微成像装置，其特征在于，包括激光光源组件、单模光纤耦合组件、内窥镜探头组件、MEMS微镜组件、数据采集组件和计算机(6)，所述MEMS微镜组件包括MEMS微镜(4‑1)和PCB驱动电路板(4‑2)，所述PCB驱动电路板(4‑2)由所述计算机(6)控制，用于驱动所述MEMS微镜(4‑1)转动；所述内窥镜探头组件包括透光反声支架(3‑2)，所述透光反声支架(3‑2)为内部充满透明的超声耦合液的封闭腔体，包括进光口(3‑4)和出光口(3‑3)，目标样品设置在所述出光口处(3‑3)，所述透光反声支架(3‑2)内部设置有透光反声的薄片；所述计算机(6)分别与所述激光光源组件和数据采集组件电气连接，用于控制所述激光光源组件产生脉冲激光以及存储和处理所述数据采集组件采集的数据；所述激光光源组件产生的脉冲激光经所述单模光纤耦合组件准直后到达所述MEMS微镜(4‑1)的中心并反射到所述透光反声支架(3‑2)的进光口(3‑4)，穿过所述透光反声支架(3‑2)并照射到所述出光口(3‑3)处的目标样品上激发出光声信号，所述光声信号经所述透光反声支架(3‑2)内的透光反声的薄片反射后被所述数据采集组件采集。