[发明专利]一种共晶焊接工艺及用于实现该工艺中冷却工艺的冷却箱有效

专利信息
申请号: 201711120396.3 申请日: 2017-11-14
公开(公告)号: CN107914102B 公开(公告)日: 2019-11-01
发明(设计)人: 周理明;倪洋;王毅 申请(专利权)人: 扬州扬杰电子科技股份有限公司
主分类号: H01L21/60 分类号: H01L21/60;B23K37/00;B23K101/36
代理公司: 扬州市苏为知识产权代理事务所(普通合伙) 32283 代理人: 周全
地址: 225008 江苏省扬*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 一种共晶焊接工艺及用于实现该工艺中冷却工艺的冷却箱。涉及芯片加工工艺领域。提出了一种稳定性好、逻辑清晰且加工效率高,使用后了有效避免出现“飞芯”问题,从而大幅降低废品率、提升产品品质的共晶焊接工艺。用于将芯片焊接在框架上,芯片和框架均在轨道单向行走,共晶焊接工艺包括预热工艺、升温工艺、回流工艺和冷却工艺,轨道分为预热段、升温段、回流段和冷却段,冷却工艺为使框架和芯片在冷却段上匀速行走,冷却段沿物料行走方向平均分为冷却段一、冷却段二、冷却段三和冷却段四,冷却段一、冷却段二、冷却段三下方通入温度依次递减的冷却气体,冷却段四处在室温环境中。本发明大幅降低废品率、提升产品品质。
搜索关键词: 一种 焊接 工艺 用于 实现 冷却
【主权项】:
1.一种用于实现共晶焊接工艺中冷却工艺的冷却箱,其特征在于,所述共晶焊接工艺用于将芯片焊接在框架上,所述芯片和框架均在轨道单向行走,所述共晶焊接工艺包括预热工艺、升温工艺、回流工艺和冷却工艺,所述轨道分为预热段、升温段、回流段和冷却段,其特征在于,所述冷却工艺为使框架和芯片在冷却段上匀速行走,所述冷却段沿物料行走方向平均分为冷却段一、冷却段二、冷却段三和冷却段四,所述冷却段一、冷却段二、冷却段三下方通入温度依次递减的冷却气体,所述冷却段四处在室温环境中;冷却段一、冷却段二和冷却段三处于冷却箱中,所述冷却箱包括箱体、一对隔板、三个进气阀和一个泄压阀,所述轨道贯穿所述箱体的上部,所述箱体的底面与轨道的间距沿物料行走方向逐渐变小,一对所述隔板均固定连接在箱体底面上、且隔板顶缘与轨道的底面留有间隙,使得箱体的下部被一对隔板分隔为空间一、空间二和空间三,所述进气阀固定连接在箱体的底部、且用于向箱体内通入冷却气体,三个所述进气阀分别处于空间一、空间二和空间三的底部,所述泄压阀固定连接在箱体的顶部、且用于避免箱体内气压过大。
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