[发明专利]一种热真空条件下振动传感器激光校准装置及方法在审
| 申请号： | 201711105340.0 | 申请日： | 2017-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN108007559A | 公开（公告）日： | 2018-05-08 |
| 发明（设计）人： | 邝奇;陈海峰;张少博;董冬;陈聪;左明聪;白文义;邹伟龙;赵纳;赵涛;朱小江;李谦 | 申请（专利权）人： | 西安航天动力试验技术研究所 |
| 主分类号： | G01H17/00 | 分类号： | G01H17/00 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 杨引雪 |
| 地址： | 710100 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种热真空条件下振动传感器激光校准装置及方法，装置包括振动台(8)、热真空系统、激光测振仪(2)及数据处理系统；被校传感器(27)位于真空腔(7)内；通过设定的真空度和温度，热真空系统获得校准所需要的温度和真空度条件。激光测振仪的出射光通过真空腔顶部光学窗口(5)内的角锥棱镜(3)入射至被校传感器(27)上的靶点(26)，激光经靶点(26)反射再次通过角锥棱镜(3)回至激光测振仪(2)，激光测振仪(2)对被校传感器(27)振动量进行采集。本发明能够在试验现场模拟温度和真空度变化对传感器性能影响，消除了现有传感器校准环境与使用环境不同所引起的测量误差，提高了校准精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 条件下 振动 传感器 激光 校准 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种热真空条件下振动传感器激光校准装置，包括振动台(8)，所述振动台(8)用于为被校传感器(27)提供振动，其特征在于：还包括热真空系统、激光测振仪(2)及数据处理系统；所述热真空系统包括真空组件及温控组件(16)，所述真空组件包括真空度可调节的真空腔(7)，所述真空腔(7)的顶部设置有光学窗口(5)；所述温控组件(16)用于对真空腔进行温度控制；所述被校传感器(27)位于真空腔(7)内；所述光学窗口(5)内还设置有角锥棱镜(3)；所述激光测振仪(2)的出射光通过角锥棱镜(3)入射至被校传感器(27)上的靶点(26)，激光经靶点(26)反射再次通过角锥棱镜(3)回至激光测振仪(2)，激光测振仪(2)对被校传感器(27)振动量进行采集；所述数据处理系统对被校传感器(27)的测量信号及激光测振仪(2)的测量信号进行比较，从而校准传感器。
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