[发明专利]一种应用溅射法制备高纯度钛溅射靶材的方法

摘要

一种应用溅射法制备高纯度钛溅射靶材的方法，使用溅射法生产的纯度为99.9％以上的钛合金为原料，采用电子束冷床炉熔炼获得高纯钛毛坯(纯度在99.98％以上)，对钛毛坯铣面并精修磨后对钛方坯切头，再切成锻造毛坯所要求的尺寸，对锻造毛坯探伤，将合格的锻造毛坯加热至980～1020℃，采用三镦三拔对锻造毛坯进行锻造，在终拔时将锻件模锻成所需规格棒材，并对锻件退火后车除棒材表面氧化皮，去除两头的锻帽后再锯切成所需规格的小柱块；车光小柱块的两锯切端面，对底部内车铣，预留出边缘，对预留边缘倒角，再对另一端部开丝，进一步清理后得到圆柱形钛溅射靶材。本发明生产的靶材纯度不小于99.98％，晶粒尺寸控制在100μm以下，可满足溅射靶材的技术要求。

主权项

1.一种应用溅射法制备高纯度钛溅射靶材的方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)用溅射法生产的纯度为99.9％以上的钛合金作为原料，将钛合金装进电子束冷床炉的进料器即螺旋筒中，将进料器装至电子束冷床炉的进料系统中，对电子束冷床炉的进料系统及熔炼系统抽真空即获得纯度为99.98％以上钛毛坯；(2)车除经模锻后的棒材表面的氧化皮，将两头的锻帽去除后，再锯切成所需规格的小柱块；(3)对小柱块的两锯切端面进行车光，取任一端面作为底面，并对底部进行内车铣，预留出边缘，内车铣完成后，对预留边缘倒角，再对另一端部开丝；(4)将上述机加工完毕的柱块进行清理，得到圆柱形钛溅射靶材。