[发明专利]掩膜板贴合装置以及其贴合方法有效
| 申请号： | 201711080476.0 | 申请日： | 2017-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN107604309B | 公开（公告）日： | 2023-09-15 |
| 发明（设计）人： | 戚海平 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人： | 王伟锋;刘铁生 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种掩膜板贴合装置以及其贴合方法，涉及有机发光显示技术领域，用于提高金属掩膜与掩膜框架之间进行焊接时贴合的紧密性。本发明的主要技术方案为：一种掩膜板贴合装置，包括：本体，所述本体上具有压合单元，所述压合单元上具有出气口，所述出气口用于朝向掩膜板的贴合区域喷出压合气体。本发明主要用于使金属掩膜和掩膜框架之间进行贴合。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 贴合 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种掩膜板贴合装置，其特征在于，包括：本体，所述本体上具有压合单元，所述压合单元上具有出气口，所述出气口用于朝向掩膜板的贴合区域喷出压合气体。
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