[发明专利]一种银掺杂类石墨碳涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201711071627.6 | 申请日： | 2017-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN107881466B | 公开（公告）日： | 2020-10-20 |
| 发明（设计）人： | 蒋百铃;邵文婷;张新宇;马俊 | 申请（专利权）人： | 南京工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/16;C23C14/34;C23C14/02;C23C14/58 |
| 代理公司： | 南京钟山专利代理有限公司 32252 | 代理人： | 李小静 |
| 地址： | 211816 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种银掺杂类石墨碳涂层的制备方法，包括以下步骤：(1)将经前处理的基体置于装有Cr靶、C靶和Ag靶的真空腔内进行等离子体清洗；(2)以Cr靶为蒸发源，以氩气为工作气体，在真空条件下采用离子镀工艺在经步骤(1)处理后的基体上沉积一层Cr缓冲层；(3)以C靶和Ag靶为蒸发源，以氩气为工作气体，在真空条件下采用离子镀工艺在步骤(2)所得的Cr缓冲层上沉积一层银掺杂类石墨碳涂层；(4)保持真空条件不变，对经步骤(3)处理后的基体进行热处理，使类石墨涂层中的银在碳团簇界面形成短小银线，并使类石墨涂层中的银在热处理条件下于类石墨涂层中发生团聚。该方法可抑制银掺杂类石墨碳涂层中银自发逸出。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掺杂 石墨 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种银掺杂类石墨碳涂层的制备方法，包括以下步骤：(1)将经前处理的基体置于装有Cr靶、C靶和Ag靶的真空腔内，在真空条件下进行等离子体清洗；(2)以Cr靶为蒸发源，以氩气为工作气体，在真空条件下采用离子镀工艺在经步骤(1)处理后的基体上沉积一层Cr缓冲层；(3)以C靶和Ag靶为蒸发源，以氩气为工作气体，在真空条件下采用离子镀工艺在步骤(2)所得的Cr缓冲层上沉积一层银掺杂类石墨碳涂层；(4)保持真空条件不变，对经步骤(3)处理后的基体进行热处理，使类石墨涂层中的银在碳团簇界面形成短小银线，并使类石墨涂层中的银在热处理条件下于类石墨涂层中发生团聚。
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