[发明专利]接收装置、传感器装置以及用于确定距离的方法

摘要

为了精确的距离测量，本发明提出一种用于确定与对象(14)的距离的接收装置(1)，包括：接收器，该接收器包括半导体结构(2)，该半导体结构(2)具有产生光诱导的载流子的、朝向背面(B)的光敏区域(4)，以及朝向正面(F)的输送区域(6)，其中光敏区域(4)和输送区域(6)通过具有在光敏区域(4)与输送区域(6)之间的通道(7)的分隔层(5)相互空间分隔开，其中输送区域(6)具有至少两个并列的栅极(8,8a,8b)的布置，其中栅极中的至少之一(8a,8b)位于在通道(7)的覆盖区域(9)中。

主权项

1.一种用于确定与对象(14)的距离的接收装置(1)，包括：-接收器，用于接收由对象(14)反射的信号(16)和用于产生光诱导的载流子；其中-接收器包括用于检测光子的半导体结构(2)；-其中所述半导体结构(2)设计用于背面的照明；-其中半导体结构(2)具有包括用于产生光诱导的载流子的、朝向背面(B)的光敏区域(4)的半导体衬底(3)以及用于输送载流子的、朝向正面(F)的输送区域(6)；-光敏区域(4)和输送区域(6)通过分隔层(5)相互空间分隔开，该分隔层具有在光敏区域(4)与输送区域(6)之间的通道(7)，分隔层(5)特别是设计为可掩埋的层；-输送区域(6)具有至少两个并列的栅极(8,8a,8b)的布置，其中栅极中的至少之一(8a,8b)位于在通道(7)的覆盖区域(9)中；在栅极(8,8a,8b)中的每个上能施加电压，以便使在输送区域(6)中的载流子运动到相应的栅极(8,8a,8b)之下，其特征在于，设有时钟发生器(10)，以便交替地依次给栅极(8,8a,8b)施加电压，以便使载流子运动到相应的栅极(8,8a,8b)之下并因此将这些载流子沿输送区域(6)输送；其中，时钟发生器(10)设计为，使载流子以预定的时间间隔从光敏区域(4)运动到输送区域(6)中并且由那儿沿输送区域(6)继续输送，以便将时间分辨转换为空间分辨；其中，输送区域(6)设计为CCD的传送带结构，使得并列设置的栅极被施加电势，从而吸引或排斥位于在该区域中的载流子，以便载流子束由栅极运动到栅极。