[发明专利]用于调整接合装置的部件之间的相对位置的系统有效

专利信息
申请号: 201711051748.4 申请日: 2017-10-30
公开(公告)号: CN108063104B 公开(公告)日: 2022-02-25
发明(设计)人: 胡瑞璋;唐良红;丘允贤;张伟源;林巨凎 申请(专利权)人: 先进科技新加坡有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/683
代理公司: 北京申翔知识产权代理有限公司 11214 代理人: 艾晶
地址: 新加坡2*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明接合装置包括可移动接合头夹头、配置为与接合头夹头一起移动的参考标记、翻转头夹头、第一和第二成像装置和调整机构。在使用中,第一成像装置捕获参考标记和翻转头夹头的一个或多个图像,以及第二成像装置捕获参考标记和接合头夹头的一个或多个图像。基于从翻转头夹头、接合头夹头和参考标记的图像确定的偏移,调整机构将接合头夹头的位置与翻转头夹头的位置对准。翻转头夹头拾取电气部件,并将电气部件传送给在对准位置的接合头夹头。
搜索关键词: 用于 调整 接合 装置 部件 之间 相对 位置 系统
【主权项】:
1.一种接合装置,包括:可移动接合头夹头;参考标记,其被配置为与所述接合头夹头一起移动;翻转头夹头,其被配置成拾取电气部件并将所述电气部件传送到所述接合头夹头;第一成像装置,其被配置为捕获所述参考标记和所述翻转头夹头的一个或多个图像;第二成像装置,其被配置为捕获所述参考标记和所述接合头夹头的一个或多个图像;和调整机构,其基于从所述翻转头夹头、接合头夹头和参考标记的图像确定的偏移,可操作地将所述接合头夹头的位置与所述翻转头夹头的位置对准。
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