[发明专利]一种湿度敏感器件的制备方法有效
申请号: | 201711043470.6 | 申请日: | 2017-10-31 |
公开(公告)号: | CN107817271B | 公开(公告)日: | 2020-06-30 |
发明(设计)人: | 邱云峰;王凯萱;马卓;张园媛;孙浩浩;纪心阳;胡平安 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨工业大学 |
主分类号: | G01N27/00 | 分类号: | G01N27/00 |
代理公司: | 北京天奇智新知识产权代理有限公司 11340 | 代理人: | 陈新胜 |
地址: | 150001 黑龙*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | 本发明提供了一种湿度敏感器件的制备方法,属于传感功能器件的制备领域。本发明一种湿度敏感器件的制备方法,步骤如下:步骤一:取30微升Hummer法制备的浓度为3‑5mg/mL的氧化石墨烯滴加到金属电极的沟道之间;步骤二:将金属电极在室温下自然晾干;步骤三:在高湿度下,通过对晾干的金属电极施加电压不对称还原金属电极沟道之间的氧化石墨烯,获得氧化石墨烯含氧官能团浓度梯度分布的器件。本发明是一种高灵敏度且不依赖外界电压即可自行工作的非接触式人机交互湿度敏感功能器件制备方法,主要用于湿度信号的检测。 | ||
搜索关键词: | 一种 湿度 敏感 器件 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种湿度敏感器件的制备方法,其特征在于,所述制备方法步骤如下:步骤一:取30微升Hummer法制备的浓度为3‑5mg/mL的氧化石墨烯(3)滴加到金属电极(1)的沟道(2)之间;步骤二:将金属电极(1)在室温下自然晾干;步骤三:在高湿度下,通过对晾干的金属电极(1)施加电压不对称还原金属电极沟道(2)之间的氧化石墨烯(3),获得氧化石墨烯(3)含氧官能团浓度梯度分布的器件。
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