[发明专利]一种柔性BNT铁电薄膜的制备方法有效
申请号: | 201711017137.8 | 申请日: | 2017-10-26 |
公开(公告)号: | CN107910030B | 公开(公告)日: | 2020-11-06 |
发明(设计)人: | 蒋丽梅;涂楠英;姜杰;周益春 | 申请(专利权)人: | 湘潭大学 |
主分类号: | G11C11/14 | 分类号: | G11C11/14;G11C11/22;H01L43/08 |
代理公司: | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 | 代理人: | 郑久兴 |
地址: | 411100*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明公开了一种柔性BNT铁电薄膜的制备方法,该方法包括以下步骤:1)用激光脉冲沉积法在白云母基底上制备钌酸锶底电极;2)采用溶胶凝胶法制备BNT铁电薄膜的前驱体溶液,其中,前驱体溶液的浓度为0.05‑0.1mol/L;3)采用旋涂法在上述钌酸锶底电极上旋涂BNT前驱体溶液,得到均匀湿膜;4)将上述制得的均匀湿膜进行干燥、热解、退火处理;5)重复步骤3)‑4)4~6次即得到柔性BNT铁电薄膜,所述薄膜的厚度为200nm‑300nm。本发明提供了一种工艺简单、铁电性能优异的柔性BNT铁电薄膜材料。 | ||
搜索关键词: | 一种 柔性 bnt 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种柔性BNT铁电薄膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤1)采用激光脉冲沉积法在白云母上制备钙钛矿结构氧化物钌酸锶SRO底电极;步骤2)采用溶胶凝胶法制备BNT铁电薄膜的前驱体溶液,其中,前驱体溶液的浓度为0.05‑0.1mol/L;步骤3)柔性BNT铁电薄膜的制备,采用旋涂法在SRO底电极上旋涂前驱体溶液,得到均匀湿膜;步骤4)将步骤3)制得的均匀湿膜进行干燥、热解、退火处理;步骤5)重复步骤3)‑4)4~6次即得到目标柔性BNT铁电薄膜,所述薄膜的厚度为200nm‑300nm。
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