[发明专利]一种柔性BNT铁电薄膜的制备方法有效

专利信息
申请号: 201711017137.8 申请日: 2017-10-26
公开(公告)号: CN107910030B 公开(公告)日: 2020-11-06
发明(设计)人: 蒋丽梅;涂楠英;姜杰;周益春 申请(专利权)人: 湘潭大学
主分类号: G11C11/14 分类号: G11C11/14;G11C11/22;H01L43/08
代理公司: 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 代理人: 郑久兴
地址: 411100*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 发明公开了一种柔性BNT铁电薄膜的制备方法,该方法包括以下步骤:1)用激光脉冲沉积法在白云母基底上制备钌酸锶底电极;2)采用溶胶凝胶法制备BNT铁电薄膜的前驱体溶液,其中,前驱体溶液的浓度为0.05‑0.1mol/L;3)采用旋涂法在上述钌酸锶底电极上旋涂BNT前驱体溶液,得到均匀湿膜;4)将上述制得的均匀湿膜进行干燥、热解、退火处理;5)重复步骤3)‑4)4~6次即得到柔性BNT铁电薄膜,所述薄膜的厚度为200nm‑300nm。本发明提供了一种工艺简单、铁电性能优异的柔性BNT铁电薄膜材料。
搜索关键词: 一种 柔性 bnt 薄膜 制备 方法
【主权项】:
一种柔性BNT铁电薄膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤1)采用激光脉冲沉积法在白云母上制备钙钛矿结构氧化物钌酸锶SRO底电极;步骤2)采用溶胶凝胶法制备BNT铁电薄膜的前驱体溶液,其中,前驱体溶液的浓度为0.05‑0.1mol/L;步骤3)柔性BNT铁电薄膜的制备,采用旋涂法在SRO底电极上旋涂前驱体溶液,得到均匀湿膜;步骤4)将步骤3)制得的均匀湿膜进行干燥、热解、退火处理;步骤5)重复步骤3)‑4)4~6次即得到目标柔性BNT铁电薄膜,所述薄膜的厚度为200nm‑300nm。
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