[发明专利]一种柔性BNT铁电薄膜的制备方法有效
| 申请号： | 201711017137.8 | 申请日： | 2017-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN107910030B | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 蒋丽梅;涂楠英;姜杰;周益春 | 申请（专利权）人： | 湘潭大学 |
| 主分类号： | G11C11/14 | 分类号： | G11C11/14;G11C11/22;H01L43/08 |
| 代理公司： | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 | 代理人： | 郑久兴 |
| 地址： | 411100*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种柔性BNT铁电薄膜的制备方法，该方法包括以下步骤：1)用激光脉冲沉积法在白云母基底上制备钌酸锶底电极；2)采用溶胶凝胶法制备BNT铁电薄膜的前驱体溶液，其中，前驱体溶液的浓度为0.05‑0.1mol/L；3)采用旋涂法在上述钌酸锶底电极上旋涂BNT前驱体溶液，得到均匀湿膜；4)将上述制得的均匀湿膜进行干燥、热解、退火处理；5)重复步骤3)‑4)4～6次即得到柔性BNT铁电薄膜，所述薄膜的厚度为200nm‑300nm。本发明提供了一种工艺简单、铁电性能优异的柔性BNT铁电薄膜材料。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 bnt 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种柔性BNT铁电薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1)采用激光脉冲沉积法在白云母上制备钙钛矿结构氧化物钌酸锶SRO底电极；步骤2)采用溶胶凝胶法制备BNT铁电薄膜的前驱体溶液，其中，前驱体溶液的浓度为0.05‑0.1mol/L；步骤3)柔性BNT铁电薄膜的制备，采用旋涂法在SRO底电极上旋涂前驱体溶液，得到均匀湿膜；步骤4)将步骤3)制得的均匀湿膜进行干燥、热解、退火处理；步骤5)重复步骤3)‑4)4～6次即得到目标柔性BNT铁电薄膜，所述薄膜的厚度为200nm‑300nm。
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