[发明专利]检测装置、检测方法及存储设备在审

专利信息
申请号: 201711015696.5 申请日: 2017-10-26
公开(公告)号: CN109708607A 公开(公告)日: 2019-05-03
发明(设计)人: 陈磊;王志欢;杨明全;张森 申请(专利权)人: 富鼎电子科技(嘉善)有限公司
主分类号: G01B21/30 分类号: G01B21/30;G01B21/22;G01B21/00
代理公司: 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 代理人: 刘永辉;郑杏芳
地址: 314102 浙江省嘉兴市嘉*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明提出一种检测装置,用于对待加工的工件的空间位置进行检测,其包括:处理器,适于实现各指令;探针单元,该探针单元与该处理器电性连接;存储设备,适于存储多条指令,所述指令适于由所述处理器加载并执行:控制该探针单元,并对该探针单元的探测头进行标定;控制该探针单元检测一工件是否放置平整;控制该探针单元检测该工件在该第一方向及该第二方向的是否发生偏移;及控制该探针单元检测该工件在该第一方向与该第二方向所在的平面上的是否发生角度偏移。同时,本发明还提出了一种检测方法及存储设备。
搜索关键词: 探针单元 存储设备 检测 处理器 种检测 指令 电性连接 多条指令 检测装置 角度偏移 空间位置 探测头 偏移 标定 加载 存储 平整 加工
【主权项】:
1.一种检测装置,用于对待加工的工件的空间位置进行检测,该检测装置包括:处理器,适于实现各指令;探针单元,该探针单元与该处理器电性连接;存储设备,适于存储多条指令,所述指令适于由所述处理器加载并执行:控制该探针单元,并对该探针单元的探测头进行标定;控制该探针单元对一工件的水平表面上的多个点进行检测,并根据检测数据进行计算以判断该工件是否放置平整;控制该探针单元对该工件的侧面上的多个点进行检测,并根据检测数据与上述多个点的理论坐标值计算出工件在第一方向及与该第一方向相垂直的第二方向的偏差值以判断该工件在该第一方向及该第二方向的是否发生偏移;及控制该探针单元对该工件的一侧面上的多个点进行检测,并根据检测数据以及上述多个点的理论坐标值计算出工件在该第一方向与该第二方向所在的平面上的偏移角度以判断该工件在该第一方向与该第二方向所在的平面上的是否发生角度偏移。
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