[发明专利]一种腔室有效
| 申请号： | 201711013633.6 | 申请日： | 2017-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN109712859B | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 张璐 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京思创毕升专利事务所 11218 | 代理人： | 孙向民;廉莉莉 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种腔室。该腔室的腔室壁由上而下包括第一金属筒部件、绝缘筒部件和第二金属筒部件并且包括环绕安装在所述绝缘筒部件内壁上的屏蔽件，所述腔室还包括开关组件，所述屏蔽件通过所述开关组件与腔室的地连接或断开。根据本发明的腔室中的屏蔽件通过开关与地相连或断开，在腔室未起辉时，该屏蔽件为悬浮状态；而起辉后，开关闭合，该屏蔽件变为接地状态，从而在减小容性耦合的同时解决了起辉困难的问题，并且可以实现对工艺过程的可控。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 | ||
【主权项】：
1.一种腔室，腔室壁由上而下包括第一金属筒部件、绝缘筒部件和第二金属筒部件及环绕安装在所述绝缘筒部件内壁上的屏蔽件，其特征在于，所述腔室还包括开关组件，所述屏蔽件通过所述开关组件与腔室的地连接或断开。
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