[发明专利]压印模具及其制造方法有效
申请号: | 201711013448.7 | 申请日: | 2017-10-25 |
公开(公告)号: | CN107976864B | 公开(公告)日: | 2021-01-26 |
发明(设计)人: | 崔诚祐;金喆镐;鞠允镐 | 申请(专利权)人: | 乐金显示有限公司 |
主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00;G02F1/13 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 杜诚;王鹏 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本公开涉及压印模具及其制造方法。该压印模具包括:基板;在基板上且具有多层结构的图案;以及在图案的上层和下层之间的蚀刻停止层。 | ||
搜索关键词: | 压印 模具 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种压印模具,包括:所述压印模具的基板;在所述基板上的图案,所述图案具有多层结构;以及在所述图案的上层和下层之间的蚀刻停止层。
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