[发明专利]77GHz毫米波雷达天线锐利度及线路加工精度处理方式

摘要

本发明公开了77GHz毫米波雷达天线锐利度及线路加工精度处理方式，通过依次进行减薄铜工艺处理、沉铜处理、菲林制作工艺处理、电镀处理、线路PAD位增加增益补偿工艺处理以及蚀刻工艺处理，本发明的有益效果是：该发明是77GHz毫米波雷达天线锐利度及线路加工精度处理方式，通过化学法对天线面进行减铜，保证减铜均匀性；点镀技术，控制天线区域铜厚及其均匀性，对天线PAD位进行增益补偿、保证天线PAD面的线宽精度和锐利度；信号稳定传输，增强产品使用精度，提升产品可靠性；缩短产品研发时间、节约产品开发投入。

主权项

1.77GHz毫米波雷达天线锐利度及线路加工精度处理方式，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：首先将目标板进行减薄铜工艺处理，通过药水对目标板的板面铜厚进行微蚀处理，得到基础板；步骤2：将步骤1中得到的基础板进行沉铜处理，使基础板的铜面上沉上一层化学薄铜，得到薄铜板；步骤3：将在步骤2中的薄铜板的外层线路上进行菲林制作工艺处理，该工艺在Genesis软件上进行计算机辅助制造，并实现自动化控制电镀，得到具有规定厚度的基础电路板；步骤4：将步骤3中得到的基础电路板外层进行电镀处理，使其表面形成一层金属层，得到金属板；步骤5：将步骤4中得到的金属板上的外层线路，在Genesis软件上进行计算机辅助制造，并实现自动化控制电镀，对外层线路进行线路PAD位增加增益补偿工艺处理；步骤6：将步骤5中进行过线路PAD位增加增益补偿工艺处理后的金属板进行蚀刻工艺处理，从未实现PAD位为直角或者锐利度不大于20um。