[发明专利]基于3D纳米桥结的超导量子干涉滤波器及其制备方法有效
| 申请号： | 201711008605.5 | 申请日： | 2017-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN107871812B | 公开（公告）日： | 2019-11-26 |
| 发明（设计）人： | 陈垒;陈晓菡;王镇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;中国科学院大学 |
| 主分类号： | H01L39/22 | 分类号： | H01L39/22;H01L39/24;B82Y10/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 31219 上海光华专利事务所(普通合伙) | 代理人： | 余明伟<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于3D纳米桥结的超导量子干涉滤波器及其制备方法，包括：于基片上形成第一超导材料层并图形化，形成第一电极；覆盖绝缘材料层；于绝缘材料层的表面形成第二超导材料层并图形化，形成第二电极；去除第一电极上方的绝缘材料层，于第一、第二电极之间形成绝缘夹层，剥离光刻胶；于第一电极、绝缘夹层及第二电极的上表面形成纳米线，以得到多个3D纳米桥结，两个3D纳米桥结并联形成超导量子干涉器件，多个超导量子干涉器件串联、并联或串并联形成基于3D纳米桥结的超导量子干涉滤波器。本发明将3D纳米桥结应用于SQIFs阵列，通过改变3D纳米桥结的串、并联的不同方式，来达到减小SQIFs阵列的面积，增大SQIF的集成度的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 纳米 超导 量子 干涉 滤波器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于3D纳米桥结的超导量子干涉滤波器，其特征在于，所述基于3D纳米桥结的超导量子干涉滤波器至少包括：/n多个超导量子干涉器件串联、并联或串并联形成的阵列，所述超导量子干涉器件包括两个3D纳米桥结并联形成的超导环；/n其中，所述3D纳米桥结包括基片、分立形成于所述基片表面的第一电极和第二电极、形成于所述第一电极与所述第二电极之间的绝缘夹层，以及形成于所述第一电极、所述绝缘夹层和所述第二电极表面的纳米线，所述第二电极与所述基片之间形成有绝缘材料层，所述纳米线电性连接所述第一电极与所述第二电极；/n当N个所述超导量子干涉器件并联时，形成的所述基于3D纳米桥结的超导量子干涉滤波器满足如下关系：/n
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