[发明专利]一种用于双面研磨机的游星轮在审
| 申请号： | 201711007667.4 | 申请日： | 2017-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN107584411A | 公开（公告）日： | 2018-01-16 |
| 发明（设计）人： | 沈斌斌 | 申请（专利权）人： | 德清凯晶光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/28 | 分类号： | B24B37/28 |
| 代理公司： | 杭州千克知识产权代理有限公司33246 | 代理人： | 赵卫康 |
| 地址： | 313000 浙江省湖州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及晶片研磨领域，具体涉及一种用于双面研磨机的游星轮，包括同心设置的基体齿盘和定位盘，所述基体齿盘外圈设置有齿，所述基体齿盘内部设置有矩形孔，所述矩形孔内设置有定位滑块，所述定位盘包括活动轮和卡位环；所述定位滑块通过连杆与所述活动轮相连，所述矩形孔的中心线穿过所述基体齿盘的圆心，所述定位滑块在所述连杆作用下沿所述矩形孔的中心线方向靠近或远离所述基体齿盘圆心移动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 双面 研磨机 游星 | ||
【主权项】：
一种用于双面研磨机的游星轮，其特征在于，包括：同心设置的基体齿盘（1）和定位盘（2），所述基体齿盘（1）外圈设置有齿，所述基体齿盘（1）内部设置有矩形孔（11），所述矩形孔（11）内设置有定位滑块（12），所述定位盘（2）包括活动轮（21）和卡位环（22）；所述定位滑块（12）通过连杆（13）与所述活动轮（21）相连，所述矩形孔（11）的中心线穿过所述基体齿盘（1）的圆心，所述定位滑块（12）在所述连杆（13）作用下沿所述矩形孔（11）的中心线方向靠近或远离所述基体齿盘（1）圆心移动。
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