[发明专利]一种基于条纹图像频谱分析的干涉测量方法

摘要

本发明公开了一种基于条纹图像频谱分析的干涉测量方法。该方法首先获取待测元件经干涉仪生成的单幅加载频干涉条纹图像，然后对条纹图像进行延拓及边缘平滑处理，再对延拓条纹图像进行快速傅里叶变换(FFT)以获取其频谱。针对该频谱运用二维插值FFT算法估计频谱旁瓣峰值位置，并根据估计结果去除图像载频。最后通过计算得出待测波面的相位信息，实现待测光学元件的面形估计。本发明的方法基于经改进的条纹图像延拓方法与条纹载频估计方法进行条纹图像分析处理，具有更高的干涉测量精度。

主权项

一种基于条纹图像频谱分析的干涉测量方法，其特征在于，具体步骤为：步骤1、采集干涉条纹灰度图像；步骤2、对干涉条纹灰度图像进行延拓预处理得到干涉条纹延拓图像；步骤3、提取干涉条纹延拓图像延拓边缘区域的像素点，按条纹分布对其灰度值进行多项式线性回归处理，得到平滑处理后的干涉条纹延拓图像；步骤4、对平滑处理后的干涉条纹延拓图像进行频谱分析处理得到去载频图像频谱；步骤5、根据去载频图像频谱确定待测光学元件的面形分布。