[发明专利]一种半导体材料的加工装置及加工工艺在审

专利信息
申请号: 201711004013.6 申请日: 2017-10-24
公开(公告)号: CN107881555A 公开(公告)日: 2018-04-06
发明(设计)人: 黄玲军 申请(专利权)人: 佛山市三水兴达涂料有限公司
主分类号: C30B29/06 分类号: C30B29/06;C30B35/00
代理公司: 佛山市智汇聚晨专利代理有限公司44409 代理人: 张艳梅
地址: 528100 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种半导体材料的加工装置及加工工艺,属于半导体材料加工设备领域,包括操作台和熔融仓,所述操作台由信息处理器、操作键盘和显示屏组成,所述操作键盘设置在所述信息处理器上,所述显示屏设置在所述信息处理器上,所述操作台侧边设置有加热装置,所述加热装置由接线柱、稳压电路、变压器和电热器组成,所述接线柱通过所述稳压电路与所述变压器相连接,所述变压器上方设置有所述电热器,所述加热装置上方设置有散热器,所述散热器上方设置有所述熔融仓。本发明可以将放入硅原料、加热硅原料、冷凝成型进行流水线化处理,提高了硅原料熔融的效率和速度,同时具有实时查看工作进程和熔融参数的功能,操作简单、使用方便。
搜索关键词: 一种 半导体材料 加工 装置 工艺
【主权项】:
一种半导体材料的加工装置,其特征在于:包括操作台(1)和熔融仓(5),所述操作台(1)由信息处理器(101)、操作键盘(102)和显示屏(103)组成,所述操作键盘(102)设置在所述信息处理器(101)上,所述显示屏(103)设置在所述信息处理器(101)上,所述操作台(1)侧边设置有加热装置(2),所述加热装置(2)由接线柱(201)、稳压电路(202)、变压器(203)和电热器(204)组成,所述接线柱(201)通过所述稳压电路(202)与所述变压器(203)相连接,所述变压器(203)上方设置有所述电热器(204),所述加热装置(2)上方设置有散热器(3),所述散热器(3)上方设置有所述熔融仓(5),所述熔融仓(5)底部设置有倾斜坡道(4),所述熔融仓(5)上方设置有排烟筒(6),所述熔融仓(5)侧边设置有卸料漏斗(7),所述卸料漏斗(7)下方通过导流管(8)与冷凝室(9)相连接。
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