[发明专利]应用于厚膜热压烧结的加压装置、热电厚膜及柔性热电器件

摘要

本发明涉及一种应用于厚膜热压烧结的加压装置、热电厚膜及柔性热电器件。该加压装置包括多个压缩弹簧组件、第一压板、第二压板、顶板和底板；底板用于放置厚膜，第一压板置于厚膜上方并与厚膜相接触，第一压板与厚膜基板的尺寸相匹配，第二压板置于第一压板的上方，顶板置于所述第二压板的上方，每个压缩弹簧组件的一端与底板的一端固定连接，每个压缩弹簧组件的另一端分别穿设第二压板和顶板的一端，每个压缩弹簧组件包括一个压缩弹簧，压缩弹簧的两端分别与第二压板的上表面和顶板的下表面相抵接。本发明的柔性热电器件的制造方法具有工艺简单、制备可控性强、生产成本低，且制备的热电器件内阻较小，在电子元件热管理应用领域有独特的优势。

主权项

1.一种热电厚膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：/n1）提供柔性基板和热电厚膜的浆料，所述热电厚膜的浆料由热电材料粉末和环氧树脂体系组成；/n2）将热电厚膜的浆料印刷到柔性基板上，厚膜干燥后置于加压装置中，该装置由不锈钢钢板切割形成， 所述加压装置包括多个压缩弹簧组件、第一压板、第二压板、顶板和底板；所述底板用于放置厚膜，所述第一压板置于厚膜上方并与厚膜相接触，所述第一压板与厚膜接触面贴上耐高温薄膜，所述第一压板与厚膜基板的尺寸相匹配，所述第二压板置于所述第一压板的上方，所述顶板置于所述第二压板的上方，每个压缩弹簧组件的一端与所述底板的一端固定连接，每个压缩弹簧组件的另一端分别穿设所述第二压板和顶板的一端，每个压缩弹簧组件包括一个压缩弹簧，所述压缩弹簧的材质为GH4169高温合金，所述压缩弹簧的两端分别与所述第二压板的上表面和顶板的下表面相抵接；/n3）通过调节压缩弹簧的压缩量从而调节施加于厚膜材料上的压力为2-4Mpa，然后将加压装置置于气氛烧结炉中进行热处理，得到所述热电厚膜。/n