[发明专利]一种椭圆柔性基底的压电薄膜传感器有效
| 申请号： | 201710989603.2 | 申请日： | 2017-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN107830877B | 公开（公告）日： | 2019-06-28 |
| 发明（设计）人： | 董维杰;赵昕;白凤仙 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | G01D5/12 | 分类号： | G01D5/12 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人： | 李晓亮;潘迅 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明属于传感器技术领域，提供一种椭圆柔性基底的压电薄膜传感器。包括压电薄膜、柔性基底、绝缘保护层；压电薄膜传感器的柔性基底为半椭圆柱弧面结构，压电薄膜覆盖在柔性基底，并通过绝缘保护层将薄膜固定；根据柔性基底结构分为等弧长椭圆柔性基底传感器和等弦长椭圆柔性基底传感器两类。该压电薄膜传感器通过仿真计算不同尺寸参数的半椭圆柔性基底的压电薄膜传感器在受到同样的力作用下的输出电压来确定最优的柔性基底尺寸，即以输出电压的高低作为确定传感器柔性基底尺寸的依据。本发明具有更高的灵敏度，便于传感器的微型化和阵列化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 椭圆 柔性 基底 压电 薄膜 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种椭圆柔性基底的压电薄膜传感器，其特征在于，所述的压电薄膜传感器包括压电薄膜(1)、柔性基底(2)、绝缘保护层(3)；柔性基底(2)为半椭圆柱弧面结构，压电薄膜(1)覆盖在柔性基底(2)上，并通过绝缘保护层(3)将压电薄膜固定；该压电薄膜传感器通过仿真计算不同尺寸参数的半椭圆柔性基底的压电薄膜传感器在受到同样的力作用下的输出电压确定最优的柔性基底(2)尺寸；所述的压电薄膜传感器根据柔性基底(2)结构分为等弧长椭圆柔性基底传感器和等弦长椭圆柔性基底传感器两类，结构介绍如下：(1)等弧长椭圆柔性基底传感器中压电薄膜(1)长度固定、柔性基底(2)的弧长L固定，柔性基底(2)的水平方向的长轴a可变；所述的柔性基底(2)的弧长L范围为2π～8πmm；所述的柔性基底(2)竖直方向的短轴b的值大于0小于L/π；(2)等弦长椭圆柔性基底传感器中椭圆形柔性基底(2)的水平方向的长轴a一定，柔性基底(2)的弧长L可变、压电薄膜(1)长度可变；所述的柔性基底(2)的长轴a范围为2～8mm。
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